勻膠顯影機是完成除曝光以外的所有光刻工藝的設備，包括光刻材料的涂布、烘烤、顯影、晶圓背面的清洗以及用于浸沒式工藝的晶圓表面的去離子水沖洗等。勻膠顯影機一般由四部分組成。***部分是晶圓盒工作站（wafer cassette station），晶圓盒在這里裝載到機器上。機械手（robot arm）從晶圓盒中把晶圓抽出來，傳送到工藝處理部分（process block），即第二部分。工藝處理部分是勻膠顯影機的主體，增粘模塊（adhesion enhancement）、熱盤（hot plate）、冷盤（chill plate）、旋涂、顯影等主要工藝單元都安裝在這里，一個或兩個機械手在各單元之間傳遞晶圓。第三部分是為浸沒式光刻工藝配套的單元，包括晶圓表面水沖洗單元、背清洗單元等。第四部分是和光刻機聯(lián)機的接口界面（interface），包括暫時儲存晶圓的緩沖盒（buffer）、晶圓邊緣曝光（wafer edge exposure，WEE）和光刻機交換晶圓的接口等。 [1]再將硅片轉(zhuǎn)移到顯影模塊下方，通過顯影模塊將未曝光區(qū)域的光刻膠去除，從而在硅片上形成所需的圖案結(jié)構(gòu)。梁溪區(qū)國產(chǎn)涂膠顯影機廠家價格

沖洗系統(tǒng)沖洗系統(tǒng)主要是由兩組噴淋管向版面正反面噴淋清水，以除去附著在版面上的顯影生成物和多余的顯影液，并通過擠壓輥擠去版面上的水分；同時具備二次水洗功能。涂膠系統(tǒng)涂膠系統(tǒng)主要功能是在顯影后的版面上涂上一層均勻的保護膠。干燥系統(tǒng)干燥系統(tǒng)由送風管和膠輥組成，通過吹風和加熱使印版迅速干燥，***將印版送出。顯影液配置顯影液配置需參考顯影液說明書和印版說明書，一般推薦使用印版廠家配送的顯影藥液，配置出的顯影液必須保證不同厚度版材的顯影寬容度。常州質(zhì)量涂膠顯影機廠家直銷這些功能模塊協(xié)同工作，確保了光刻工藝的高效和精確。

顯影是在印刷、影印、復印、曬圖等行業(yè)中，讓影像顯現(xiàn)的一個過程。顯影包括正顯影和反轉(zhuǎn)顯影。正顯影中顯影色粉所帶電荷的極性，與感光鼓表面靜電潛像的電荷極性是相反的，反轉(zhuǎn)顯影中感光鼓與色粉電荷極性是相同的。在復印機、打印機中顯影就是用帶電的色粉使感光鼓上的靜電潛像轉(zhuǎn)變成可見的色粉圖像的過程。顯影包括正顯影和反轉(zhuǎn)顯影。正顯影時，顯影色粉所帶電荷的極性，與感光鼓表面靜電潛像的電荷極性相反。顯影時，在感光鼓表面靜電潛像是場力的作用下，色粉被吸附在感光鼓上。靜電潛像電位越高的部分，吸附色粉的能力越強；靜電潛像電位越低的部分，吸附色粉的能力越弱。對應靜電潛像電位（電荷的多少）的不同，其吸附色粉量也就不同。多用在模擬復印機中。

4 **小執(zhí)行單位：X軸1μM，Z軸1μM。5 有***值編程（G90）和增量值編程（G91），軟限位（G67和G68）。6 有宏指令和參數(shù)編程。CNC有極強的二次開發(fā)能力和高度開放的PLC功能。7 由于采用高速CPU和段預讀功能，保持程序段間無停頓，連續(xù)勻速運動。8 用口令來***對機械數(shù)據(jù)的操作和程序輸入，輸出，刪除，復制，CNC的操作非常簡便。CNC硬件上的優(yōu)點：1 CNC是雙CPU。一個是工業(yè)用MOTOROLA公司的M68000系列32位單片機。它用于各種插補運算。一個是Z80單片機。它用于圖形和鍵盤功能。保證顯影液循環(huán)、膠液循環(huán)、水循環(huán)順暢，無堵塞；

顯影偏壓顯影偏壓由高壓板產(chǎn)生，并施加于顯影輥，用以提供圖像對比度。例如：顯影套筒的偏壓由交流電（AC）提供，如京瓷KM-1650機器：顯影偏壓Vp-p：所施加電壓的最大值和最小值之差；固定高壓：1.6kV；Vf：頻率；一般為2.7kHz，該值根據(jù)驅(qū)動時間預設值和環(huán)境校正的不同而不同；占空比：一個周期內(nèi)正電壓所占的時間比例一般為45%；Vdc：顯影偏壓290V；Vo：感光鼓表面非圖像區(qū)域（未曝光區(qū)）的電壓；VL：感光鼓表面圖像區(qū)域（曝光區(qū)）的電壓。 [2]堆疊式高產(chǎn)能架構(gòu)：一些先進的涂膠顯影機采用堆疊式設計，提高了生產(chǎn)效率，同時占地面積相對較小。宜興質(zhì)量涂膠顯影機銷售電話

毛刷輥旋轉(zhuǎn)方向與版材前進方向相逆，有利于顯影效果。梁溪區(qū)國產(chǎn)涂膠顯影機廠家價格

顯影機一般由傳動系統(tǒng)、顯影系統(tǒng)、沖洗系統(tǒng)、烘干系統(tǒng)、程序控制系統(tǒng)等部分組成。傳動系統(tǒng)傳動系統(tǒng)是引導印版運行的驅(qū)動裝置。是由電機通過蝸輪蝸桿或鏈輪鏈條帶動傳送輥轉(zhuǎn)動，并通過對壓膠輥驅(qū)動使印版通過顯影機的各個工作環(huán)節(jié)。顯影系統(tǒng)印版顯影過程中，經(jīng)過循環(huán)顯影液均勻、連續(xù)地噴淋，將印版空白部位的感光層迅速溶解，有的顯影機還加有刷輥刷洗，加速這種溶解。為了保證顯影液在恒定條件下工作，此部分還有加熱器和冷卻器，可自動調(diào)節(jié)溫度（一般控制在25℃左右）。藥液自動循環(huán)過濾，保證各處藥液濃度和溫度均勻一致。梁溪區(qū)國產(chǎn)涂膠顯影機廠家價格

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