精密環(huán)控柜主要由設備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等組成，為光刻機、激光干涉儀等精密測量、精密制造設備提供超高精度溫濕度、潔凈度的工作環(huán)境。該設備內(nèi)部通過風機引導氣流以一定的方向循環(huán)，控制系統(tǒng)對循環(huán)氣流的每個環(huán)節(jié)進行處理，從而使柜內(nèi)的溫濕度達到超高的控制精度。該系統(tǒng)可實現(xiàn)潔凈度百級、十級、一級，溫度波動值±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等精密環(huán)境控制。自面世以來，已為相關領域客戶提供了穩(wěn)定的實驗室環(huán)境以及監(jiān)測服務，獲得了眾多好評?？蓪崿F(xiàn)潔凈度百級、十級，溫度波動值±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等精密環(huán)境控制。山東光譜分析儀溫濕度

我司自主研發(fā)的高精密控溫技術，控制輸出精度達 0.1%，能精細掌控溫度變化。溫度波動控制可選 ±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等多檔，滿足嚴苛溫度需求。該系統(tǒng)潔凈度表現(xiàn)優(yōu)異，可達百級、十級、一級。關鍵區(qū)域靜態(tài)溫度穩(wěn)定性 ±5mK，內(nèi)部溫度均勻性小于 16mK/m，為芯片研發(fā)等敏感項目營造理想溫場，保障實驗數(shù)據(jù)不受溫度干擾。濕度方面，8 小時內(nèi)穩(wěn)定性可達 ±0.5%；壓力穩(wěn)定性為 +/-3Pa，設備還能連續(xù)穩(wěn)定工作 144 小時，助力長時間實驗與制造。在潔凈度上，工作區(qū)潔凈度優(yōu)于 ISO class3，既確保實驗結果準確可靠，又保障精密儀器正常工作與使用壽命，推動科研與生產(chǎn)進步。內(nèi)蒙古溫濕度穩(wěn)定性針對設備運維，系統(tǒng)實時同步記錄運行、故障狀態(tài)，快速查詢回溯，準確定位問題根源。

光刻設備對溫濕度的要求也極高，光源發(fā)出的光線需經(jīng)過一系列復雜的光學系統(tǒng)聚焦到硅片表面特定區(qū)域，以實現(xiàn)對光刻膠的曝光，將設計好的電路圖案印制上去。當環(huán)境溫度出現(xiàn)極其微小的波動，哪怕只是零點幾攝氏度的變化，光刻機內(nèi)部的精密光學元件就會因熱脹冷縮特性而產(chǎn)生細微的尺寸改變。這些光學元件包括鏡片、反射鏡等，它們的微小位移或形狀變化，會使得光路發(fā)生偏差。原本校準、聚焦于硅片特定坐標的光線，就可能因為光路的改變而偏離預定的曝光位置，出現(xiàn)曝光位置的漂移。

超高精度溫度控制是精密環(huán)控柜的一大突出亮點。其自主研發(fā)的高精密控溫技術，使得控制輸出精度達到驚人的 0.1% ，這意味著對溫度的調(diào)控能夠精細到極小的范圍。設備內(nèi)部溫度穩(wěn)定性在關鍵區(qū)域可達 +/-2mK (靜態(tài)) ，無論外界環(huán)境如何變化，都能保證關鍵部位的溫度處于極其穩(wěn)定的狀態(tài)。內(nèi)部溫度規(guī)格可在 22.0°C (可調(diào)) ，滿足不同用戶對溫度的個性化需求。而且溫度水平均勻性小于 16mK/m ，確保柜內(nèi)各個角落的溫度幾乎一致，避免因溫度差異導致的實驗誤差或產(chǎn)品質量問題。再加上設備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達 ±0.5%@8h ，以及壓力穩(wěn)定性可達 +/-3Pa ，連續(xù)穩(wěn)定工作時間大于 144h ，為對溫濕度、壓力要求苛刻的實驗和生產(chǎn)提供了可靠的環(huán)境保障，讓長時間的科研實驗和精密制造得以順利進行。高精密環(huán)控設備可移動，容易維護和擴展。

在高濕度環(huán)境中，空氣里水汽含量增大，這對光學儀器而言，無疑是巨大的威脅。儀器內(nèi)部的鏡片猶如極易受潮的精密元件，當水汽附著其上，便會在表面悄然形成一層輕薄且均勻的水膜。這層水膜宛如光線傳播的阻礙，大幅降低光線的透過率，致使成像亮度明顯減弱，對比度也隨之降低，觀測視野仿佛被蒙上一層朦朧的薄紗，原本清晰的景象變得模糊不清。倘若光學儀器長期處于這樣的高濕度環(huán)境，問題將愈發(fā)嚴重。水汽會逐漸滲透至鏡片與鏡筒的結合處，對金屬部件發(fā)起 “攻擊”，使之遭受腐蝕。隨著時間的推移，金屬部件被腐蝕得千瘡百孔，無法穩(wěn)固地固定鏡片，導致鏡片出現(xiàn)松動現(xiàn)象，光路精度被進一步破壞。對于那些運用鍍膜技術來提升光學性能的鏡片，高濕度同樣是一大勁敵，它會使鍍膜層受損，鏡片的抗反射能力大打折扣，進而嚴重影響成像效果，讓光學儀器難以發(fā)揮應有的作用。精密環(huán)境控制設備內(nèi)部溫度規(guī)格設定為 22.0 °C 且可靈活調(diào)節(jié)，以滿足不同控溫需求。芯片溫濕度控制柜

針對光學鏡片研磨車間，提供穩(wěn)定溫濕度，保證鏡片加工精度。山東光譜分析儀溫濕度

在航空航天和新能源電子領域，眾多零部件的制造與檢測對環(huán)境的精密性要求極高，精密環(huán)控柜為這些關鍵環(huán)節(jié)提供了可靠保障。航空航天零部件多采用先進材料制造，其加工和檢測過程需要嚴苛的環(huán)境條件。如航空發(fā)動機葉片的精密加工，0.05℃的溫度波動都可能使機床的主軸、導軌等關鍵部件熱變形，導致葉片加工精度不達標。精密環(huán)控柜的高精度溫度控制，確保加工環(huán)境穩(wěn)定，保障葉片加工質量。同時，其超高水準潔凈度控制，防止塵埃顆粒對航空零部件的污染，提升產(chǎn)品可靠性。除此之外，一些需要高精密環(huán)境的領域，也離不開精密環(huán)控柜。山東光譜分析儀溫濕度