陶瓷真空計是一種用于測量真空系統(tǒng)中壓力的儀器,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、科研實驗等領(lǐng)域。其**部件由陶瓷材料制成,具有耐高溫、耐腐蝕、絕緣性能好等優(yōu)點。主要特點耐高溫:陶瓷材料能在高溫環(huán)境下穩(wěn)定工作。耐腐蝕:適用于腐蝕性氣體環(huán)境。絕緣性能:良好的電絕緣性,適合高電壓環(huán)境。高精度:提供精確的真空度測量。
陶瓷真空計通過測量氣體分子對陶瓷元件的熱傳導(dǎo)或壓力效應(yīng)來確定真空度,常見類型包括:熱電偶真空計:利用氣體熱傳導(dǎo)變化測量壓力。皮拉尼真空計:基于氣體熱傳導(dǎo)與壓力的關(guān)系。電容式真空計:通過陶瓷薄膜的形變測量壓力。應(yīng)用領(lǐng)域 真空計的讀數(shù)可能會受到外部環(huán)境因素的影響。山東陶瓷真空計生產(chǎn)企業(yè)
8. 復(fù)合真空計復(fù)合真空計結(jié)合多種測量技術(shù),適用于從粗真空到超高真空的范圍。原理:通常結(jié)合皮拉尼真空計和電離真空計。測量范圍:10?1? Torr 到 1000 Torr。優(yōu)點:測量范圍廣,適用性強。缺點:成本較高。應(yīng)用:多功能真空系統(tǒng)。9. 其他真空計(1)放射性電離真空計原理:利用放射性物質(zhì)電離氣體分子測量壓力。測量范圍:10?? Torr 到 10?3 Torr。優(yōu)點:無需電源,穩(wěn)定性好。缺點:放射性物質(zhì)存在安全隱患。應(yīng)用:特殊環(huán)境真空測量。(2)聲波真空計原理:通過聲波傳播速度變化測量壓力。測量范圍:10?? Torr 到 1000 Torr。優(yōu)點:非接觸式測量。缺點:精度較低。應(yīng)用:特定工業(yè)應(yīng)用。無錫大氣壓真空計設(shè)備廠家電容真空計有哪些優(yōu)點?
4. 電容式真空計電容式真空計通過測量電容變化來間接測量壓力,適用于中真空和高真空范圍。(1)電容薄膜真空計原理:利用薄膜在壓力作用下的形變引起電容變化來測量壓力。測量范圍:10?? Torr 到 1000 Torr。優(yōu)點:精度高、響應(yīng)快。缺點:成本較高。應(yīng)用:中真空和高真空測量。5. 振膜式真空計振膜式真空計通過測量振膜頻率變化來測量壓力,適用于中真空和高真空范圍。(1)石英晶體真空計原理:利用石英晶體振膜在壓力作用下的頻率變化測量壓力。測量范圍:10?? Torr 到 1000 Torr。優(yōu)點:精度高、穩(wěn)定性好。缺點:成本較高。應(yīng)用:高精度真空測量。
(1)真空計直接讀取氣體壓力,其壓力響應(yīng)(刻度)可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定。***真空計對所有氣體都是準(zhǔn)確的且與氣體種類無關(guān),屬于***真空計的有U型壓力計、壓縮式真空計和熱輻射真空計等。(2)相對真空計一些氣體壓力有函數(shù)關(guān)系的量來確定壓力,不能通過簡單的計算,必須進行校準(zhǔn)才能。相對真空計一般由作為傳感器的真空計規(guī)管(或規(guī)頭)和用于控制、指示的測量器組成。讀數(shù)與氣體種類有關(guān)。相對真空計的種類很多,如熱傳導(dǎo)真空計和電離真空計等。電容真空計與熱傳導(dǎo)式真空計在測量原理上有所不同。
常見的真空計類型包括:直接讀取式真空計:如U型管壓力計、壓縮式真空計等,它們直接讀取氣體壓力,其壓力響應(yīng)(刻度)可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定。這類真空計對所有氣體都是準(zhǔn)確的,且與氣體種類無關(guān)。相對真空計:如熱傳導(dǎo)真空計、電離真空計等,它們由一些與氣體壓力有函數(shù)關(guān)系的量來確定壓力,不能通過簡單的計算進行刻度,必須進行校準(zhǔn)。這類真空計的讀數(shù)與氣體種類有關(guān)。電容式薄膜真空計:利用彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生應(yīng)變而引起電容變化的原理制成,是一種絕壓、全壓測量的真空計。它的測量直接反映了真空壓力的變化值,而且只與壓力有關(guān),與氣體成分無關(guān)。電容真空計是一種利用電容變化來測量真空度的儀器。安徽mems電容真空計生產(chǎn)企業(yè)
電容真空計的工作原理是怎樣的?山東陶瓷真空計生產(chǎn)企業(yè)
1. 機械式真空計機械式真空計通過物理形變或液柱高度差來測量壓力,適用于粗真空和低真空范圍。(1)U型管壓力計原理:利用液柱(如水或汞)的高度差測量壓力。測量范圍:通常為大氣壓到約 1 Torr(133 Pa)。優(yōu)點:結(jié)構(gòu)簡單、成本低。缺點:精度較低,不適用于高真空。應(yīng)用:實驗室粗真空測量。(2)布爾登壓力計原理:利用金屬管(布爾登管)在壓力作用下的形變來測量壓力。測量范圍:大氣壓到約 10?3 Torr。優(yōu)點:結(jié)構(gòu)簡單、耐用。缺點:精度有限,不適用于高真空。應(yīng)用:工業(yè)粗真空和低真空測量。山東陶瓷真空計生產(chǎn)企業(yè)