皮拉尼真空計(jì)利用惠斯通電橋的補(bǔ)償原理,通過測(cè)量一個(gè)發(fā)熱體與一個(gè)接收發(fā)熱體之間的熱傳導(dǎo)程度來(lái)判斷氣體的壓力。具體來(lái)說,當(dāng)加熱燈絲(一般為鉑絲)被恒定電流加熱時(shí),其溫度會(huì)升高。對(duì)于給定大小的電流,加熱絲的溫度取決于通過傳導(dǎo)和對(duì)流向周圍介質(zhì)(即氣體)散熱的速率。在真空或低壓環(huán)境中,加熱絲的熱導(dǎo)率(即將熱量散發(fā)給周圍介質(zhì)的能力)會(huì)降低,導(dǎo)致加熱絲變得更熱。這種溫度變化會(huì)引起導(dǎo)線電阻的變化,這種變化可以通過惠斯通電橋來(lái)測(cè)量。當(dāng)氣體分子密度發(fā)生變化時(shí),熱量從金屬絲傳遞到氣體會(huì)受到影響。這種熱損失取決于氣體類型和壓力,使金屬絲保持在一定溫度下所需的能量也相應(yīng)變化。因此,可以通過測(cè)量這種能量變化來(lái)間接測(cè)量真空壓力。如何校準(zhǔn)電容真空計(jì)?上海mems真空計(jì)設(shè)備廠家
真空計(jì)用于測(cè)量真空系統(tǒng)中的壓力,使用方法如下:1. 選擇合適類型根據(jù)測(cè)量需求選擇合適的真空計(jì)類型,常見的有:熱偶真空計(jì):適用于低真空(1 Pa - 1000 Pa)。電離真空計(jì):適用于高真空(10^-3 Pa - 10^-8 Pa)。皮拉尼真空計(jì):適用于中真空(0.1 Pa - 1000 Pa)。電容薄膜真空計(jì):適用于寬范圍(10^-4 Pa - 1000 Pa)。2. 安裝位置選擇:安裝在真空系統(tǒng)靠近測(cè)量點(diǎn)的位置,避免氣流或溫度波動(dòng)影響。連接方式:確保接口密封良好,通常使用法蘭或螺紋連接。3. 校準(zhǔn)校準(zhǔn)步驟:使用標(biāo)準(zhǔn)真空源或校準(zhǔn)設(shè)備,按說明書進(jìn)行校準(zhǔn)。校準(zhǔn)頻率:定期校準(zhǔn),確保測(cè)量精度。4. 操作啟動(dòng):接通電源,預(yù)熱(如有需要)。讀數(shù):待讀數(shù)穩(wěn)定后記錄壓力值。調(diào)整:根據(jù)測(cè)量結(jié)果調(diào)整真空系統(tǒng)。5. 維護(hù)清潔:定期清潔傳感器,避免污染。檢查:檢查密封性和電氣連接,確保正常工作。更換:傳感器老化或損壞時(shí)及時(shí)更換。6. 注意事項(xiàng)量程:避免超出量程使用,防止損壞。環(huán)境:避免在腐蝕性、高溫或高濕環(huán)境中使用。安全:操作時(shí)注意安全,避免高壓或真空泄漏風(fēng)險(xiǎn)。7. 故障處理無(wú)讀數(shù):檢查電源和連接。讀數(shù)不穩(wěn):檢查密封性和傳感器狀態(tài)。誤差大:重新校準(zhǔn)或更換傳感器。上海mems真空計(jì)設(shè)備廠家真空測(cè)量的特點(diǎn)有哪些?
真空測(cè)量的特點(diǎn)測(cè)量壓力范圍寬,105~10-14Pa。2大部分真空計(jì)是間接測(cè)量,只有壓力為105~10Pa時(shí),可直接測(cè)單位面積所受的力。3采用電測(cè)技術(shù),反應(yīng)迅速,靈敏度高,可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。4大部分真空計(jì)的讀數(shù)與氣體種類和成分有關(guān)。所以測(cè)量時(shí)要特別注意被測(cè)量氣體種類和成分,否則會(huì)造成很大誤差。5測(cè)量精度不高。選擇真空計(jì)的原則在要求的壓力區(qū)域內(nèi)有要求的精度。2被測(cè)氣體是否會(huì)損傷真空計(jì);真空計(jì)可否會(huì)給被測(cè)氣體狀態(tài)帶來(lái)影響。3靈敏度與氣體種類有關(guān)否。4可否連續(xù)指示、電氣指示以及反應(yīng)時(shí)間長(zhǎng)短。5穩(wěn)定性、復(fù)現(xiàn)性、可靠性和壽命如何。6還要看真空計(jì)的安裝方法、操作性能、保修、管理、市場(chǎng)有無(wú)銷售、購(gòu)買的難易程度和規(guī)格如何。7是否具備耐腐蝕性。特殊的真空介質(zhì)中,如強(qiáng)酸、鹽堿環(huán)境下,要求真空計(jì)具備一定的耐腐蝕性能。8是否耐高溫。高溫的工藝環(huán)境下,對(duì)真空計(jì)中的敏感及電子元器件有較高的要求,不能發(fā)生失效、漂移情況的發(fā)生。
真空計(jì)的拆裝需要謹(jǐn)慎操作,以確保設(shè)備不受損壞并保持測(cè)量精度。以下是拆裝真空計(jì)的一般步驟和注意事項(xiàng)。拆卸步驟斷電與泄壓:關(guān)閉電源,確保系統(tǒng)斷電。緩慢泄壓,確保系統(tǒng)內(nèi)無(wú)殘余壓力。斷開連接:斷開電氣連接,標(biāo)記接線以便重新安裝。使用合適工具斷開真空計(jì)與系統(tǒng)的連接。拆卸真空計(jì):按說明書拆卸固定螺栓或夾具。小心取下真空計(jì),避免碰撞或掉落。檢查與清潔:檢查真空計(jì)和連接部件有無(wú)損壞或污染。清潔接口和密封面,確保無(wú)雜質(zhì)。如何減少電磁干擾對(duì)皮拉尼真空計(jì)的影響?
渦輪分子泵的工作原理是在電機(jī)的帶動(dòng)下,動(dòng)葉輪高速旋轉(zhuǎn)(動(dòng)葉輪外緣的線速度高達(dá)氣體分子熱運(yùn)動(dòng)的速度,一般為150~400米/秒)。在分子流區(qū)域內(nèi),氣體分子與高速轉(zhuǎn)動(dòng)的葉片表面碰撞,動(dòng)量傳遞給氣體分子,使部分氣體分子在剛體表面運(yùn)動(dòng)方向上產(chǎn)生定向流動(dòng)而被排出泵外,從而達(dá)到抽氣的目的。啟動(dòng)快:渦輪分子泵能夠在短時(shí)間內(nèi)迅速啟動(dòng),并達(dá)到穩(wěn)定的抽氣狀態(tài)??股渚€照射:渦輪分子泵能夠抵抗各種射線的照射,適用于高能加速器等輻射環(huán)境下的真空抽取。耐大氣沖擊:渦輪分子泵具有較強(qiáng)的耐大氣沖擊能力,能夠在氣壓突變的環(huán)境中保持穩(wěn)定的抽氣性能。無(wú)氣體存儲(chǔ)和解吸效應(yīng):渦輪分子泵在工作過程中不會(huì)存儲(chǔ)氣體,也不會(huì)產(chǎn)生解吸效應(yīng),因此能夠獲得清潔的超高真空。無(wú)油蒸氣污染:渦輪分子泵采用無(wú)油潤(rùn)滑系統(tǒng),避免了油蒸氣對(duì)真空環(huán)境的污染。四、應(yīng)用領(lǐng)域皮拉尼真空計(jì)的測(cè)量原理和特點(diǎn)有?山東陶瓷真空計(jì)
皮拉尼真空計(jì)是一種用于測(cè)量真空壓力的儀器。上海mems真空計(jì)設(shè)備廠家
6. 麥克勞真空計(jì)麥克勞真空計(jì),通過壓縮氣體測(cè)量壓力,適用于高真空和超高真空范圍。原理:利用氣體壓縮后的液柱高度差測(cè)量壓力。測(cè)量范圍:10?? Torr 到 10?3 Torr。優(yōu)點(diǎn):精度高,無(wú)需校準(zhǔn)。缺點(diǎn):操作復(fù)雜,響應(yīng)慢。應(yīng)用:實(shí)驗(yàn)室高真空校準(zhǔn)。7. 質(zhì)譜儀質(zhì)譜儀通過分析氣體成分來(lái)間接測(cè)量壓力,適用于超高真空和極高真空范圍。(1)四極質(zhì)譜儀原理:利用四極電場(chǎng)分離氣體離子,通過離子電流測(cè)量壓力。測(cè)量范圍:10?12 Torr 到 10?? Torr。優(yōu)點(diǎn):可分析氣體成分。缺點(diǎn):成本高,操作復(fù)雜。應(yīng)用:超高真空和極高真空系統(tǒng)。上海mems真空計(jì)設(shè)備廠家