4. 電容式真空計(jì)電容式真空計(jì)通過測量電容變化來間接測量壓力,適用于中真空和高真空范圍。(1)電容薄膜真空計(jì)原理:利用薄膜在壓力作用下的形變引起電容變化來測量壓力。測量范圍:10?? Torr 到 1000 Torr。優(yōu)點(diǎn):精度高、響應(yīng)快。缺點(diǎn):成本較高。應(yīng)用:中真空和高真空測量。5. 振膜式真空計(jì)振膜式真空計(jì)通過測量振膜頻率變化來測量壓力,適用于中真空和高真空范圍。(1)石英晶體真空計(jì)原理:利用石英晶體振膜在壓力作用下的頻率變化測量壓力。測量范圍:10?? Torr 到 1000 Torr。優(yōu)點(diǎn):精度高、穩(wěn)定性好。缺點(diǎn):成本較高。應(yīng)用:高精度真空測量。電容真空計(jì)的校準(zhǔn)通常需要使用已知真空度的標(biāo)準(zhǔn)真空源或真空計(jì)進(jìn)行比對。蘇州高質(zhì)量真空計(jì)供應(yīng)商
真空計(jì)是一種用于測量真空度或低于大氣壓的稀薄氣體的氣壓的儀器。以下是真空計(jì)的主要特點(diǎn):1.多種測量原理真空計(jì)有多種測量原理,如電容式、電離式、熱傳導(dǎo)式等。不同的測量原理具有不同的特點(diǎn)和適用范圍,用戶可以根據(jù)具體需求選擇合適的真空計(jì)。2.易維護(hù)一些真空計(jì)的設(shè)計(jì)使得其易于維護(hù)和校準(zhǔn)。例如,有些真空計(jì)的傳感器可以更換,這使得在傳感器損壞或老化時(shí)能夠方便地更換新的傳感器,從而延長真空計(jì)的使用壽命。3.小型化和集成化隨著科技的發(fā)展,真空計(jì)正朝著小型化和集成化的方向發(fā)展。小型化的真空計(jì)更加便于攜帶和安裝,而集成化的真空計(jì)則能夠與其他設(shè)備或系統(tǒng)進(jìn)行集成,實(shí)現(xiàn)更加智能化的監(jiān)測和控制。然而,真空計(jì)也存在一些局限性,如某些類型的真空計(jì)易被污染、測量范圍相對較窄等。因此,在選擇和使用真空計(jì)時(shí),需要綜合考慮其優(yōu)缺點(diǎn)以及具體的應(yīng)用需求。江蘇mems皮拉尼真空計(jì)設(shè)備供應(yīng)商真空計(jì)的讀數(shù)可能會受到外部環(huán)境因素的影響。
利用氣體動力學(xué)效用類真空計(jì)
測量與真空相連的容器表面受到的壓力作用而產(chǎn)生的彈性變形或其他力學(xué)性能變化來推算真空度的。典型**有波爾登規(guī)(Bourdon)和薄膜電容規(guī)。a)波爾登規(guī)利用彈性元件(如波紋管)在壓力作用下的變形來測量真空度。當(dāng)氣體壓力作用在波紋管上時(shí),波紋管會產(chǎn)生變形,這種變形可以通過機(jī)械傳動機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)化為指針的偏轉(zhuǎn),從而指示出真空度的大小。
b)電容薄膜真空計(jì)利用薄膜的形變與電容的變化關(guān)系來測量真空度。當(dāng)氣壓發(fā)生變化時(shí),薄膜會相應(yīng)地產(chǎn)生形變,這種形變會導(dǎo)致電容的改變,進(jìn)而通過測量電容的變化量來推算出真空度的數(shù)值。薄膜電容規(guī)具有結(jié)構(gòu)簡單、響應(yīng)迅速、測量范圍廣等特點(diǎn)。
由于真空技術(shù)部門所涉及的工作壓強(qiáng)范圍十分寬泛,任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有工作環(huán)境,只能根據(jù)不同的工作壓強(qiáng)范圍和工作要求使用不同的真空泵,或?qū)煞N或兩種以上的真空泵組合起來形成真空泵機(jī)組。這種壓強(qiáng)范圍一般用真空度*注釋來表示,根據(jù)真空度的不同,又可以將真空泵分為以下幾種類型:(1)低真空(粗真空)泵:真空度在1Pa至103Pa之間。常見類型:旋片式真空泵、水環(huán)真空泵、往復(fù)式真空泵、無油真空泵等。(2)中真空泵:真空度在10-3Pa至1Pa之間。常見類型:螺桿泵、油封機(jī)械泵、羅茨真空泵等。(3)高真空泵:真空度在10-3Pa至10-7Pa之間。常見類型:滑閥式真空泵、羅茨真空泵、干式螺桿泵等。(4)超高真空泵:真空度在10-8Pa至10-12Pa之間。常見類型:旋轉(zhuǎn)活塞真空泵、分子泵、濺射離子泵、鈦升華泵、擴(kuò)散泵等。*注釋:真空度:真空度是指處于真空狀態(tài)下的氣體稀薄程度。若所測設(shè)備內(nèi)的壓強(qiáng)低于大氣壓強(qiáng),其壓力測量需要真空表。從真空表所讀得的數(shù)值稱真空度。計(jì)算方法:真空度=大氣壓強(qiáng)-***壓強(qiáng)。單位:帕斯卡(Pa)、千帕(KPa)、兆帕(MPa)、大氣壓(atm)、毫米汞柱(mmHg)、巴(bar)、托(Torr)等皮拉尼真空計(jì)在測量過程中需要注意哪些安全問題?
皮拉尼真空計(jì)主要由感應(yīng)頭和控制頭兩部分組成。感應(yīng)頭多為金屬或玻璃外殼,內(nèi)有感測真空壓力的燈絲或其他感溫元件??刂祁^則為感應(yīng)頭提供必要的電路,并負(fù)責(zé)信號放大和信號數(shù)字化的工作。根據(jù)測量方式的不同,皮拉尼真空計(jì)可以分為定電流式和定電壓式兩種:定電流式:在這種方式中,通過加熱燈絲的電流保持恒定。當(dāng)真空壓力改變時(shí),燈絲的溫度會發(fā)生變化,從而導(dǎo)致燈絲的電阻值發(fā)生變化。這種電阻變化可以通過惠斯通電橋來測量,并轉(zhuǎn)換為真空壓力值。定電壓式:在這種方式中,加熱燈絲上的電壓保持恒定。當(dāng)真空壓力變化時(shí),燈絲的溫度和電阻值也會相應(yīng)變化。通過測量通過燈絲的電流變化,可以間接測量真空壓力。電容真空計(jì)有哪些優(yōu)點(diǎn)?陜西mems真空計(jì)生產(chǎn)廠家
真空計(jì)如何選型與使用?蘇州高質(zhì)量真空計(jì)供應(yīng)商
真空計(jì)是用于測量真空系統(tǒng)中壓力的儀器,具有多種特點(diǎn),使其在不同應(yīng)用中表現(xiàn)出色。以下是真空計(jì)的主要特點(diǎn):1. 寬量程適用:真空計(jì)可覆蓋從低真空到超高真空的范圍(如10^-1 Pa到10^-10 Pa)。多類型選擇:不同類型的真空計(jì)適用于不同的壓力范圍。2. 高精度精確測量:現(xiàn)代真空計(jì)具有高精度,能提供準(zhǔn)確的真空度測量。高分辨率:能夠檢測到微小的壓力變化。3. 快速響應(yīng)實(shí)時(shí)監(jiān)測:真空計(jì)對壓力變化反應(yīng)迅速,適合需要實(shí)時(shí)監(jiān)測的應(yīng)用。動態(tài)測量:在快速變化的環(huán)境中,真空計(jì)能提供穩(wěn)定的測量結(jié)果。4. 環(huán)境適應(yīng)性耐高溫:部分真空計(jì)能在高溫環(huán)境下穩(wěn)定工作。耐腐蝕:適用于腐蝕性氣體環(huán)境,選擇耐腐蝕材料制成的真空計(jì)??刮廴荆涸谖廴練怏w環(huán)境中,部分真空計(jì)具有抗污染能力。5. 多種測量原理熱傳導(dǎo):如皮拉尼真空計(jì),基于氣體熱傳導(dǎo)變化測量壓力。電離:如電離真空計(jì),通過測量氣體分子電離產(chǎn)生的離子流來確定壓力。電容:如電容式真空計(jì),通過測量電容變化來確定壓力。6. 易于安裝與維護(hù)多種安裝方式:提供法蘭連接、螺紋連接等多種安裝方式,適應(yīng)不同系統(tǒng)需求。易于維護(hù):設(shè)計(jì)簡單,易于清潔和維護(hù),部分真空計(jì)具有自校準(zhǔn)功能。蘇州高質(zhì)量真空計(jì)供應(yīng)商