廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-05-29

立式爐采用垂直升降式腔體設(shè)計，工件通過吊籃或托盤垂直進出爐體，利用重力實現(xiàn)上下料定位，適合對空間利用率要求高的場景；臥式爐則為水平推拉式結(jié)構(gòu)。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司的立式爐通過優(yōu)化腔體氣流分布，減少水平溫差，溫度均勻性較傳統(tǒng)臥式爐提升 30% 以上。

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