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RU2系列光柵系統(tǒng)信號處理系統(tǒng)如何降低細分誤差?

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蘇州貝格納工業(yè)設備有限公司2025-05-13

RU2配備24位真差分ADC芯片,采樣速率達5MSPS,配合數(shù)字鎖相環(huán)技術將信號抖動控制在5ps以內(nèi)。采用三階噪聲整形算法,將量化噪聲降低至-120dB水平。動態(tài)補償模塊實時分析速度-加速度參數(shù),通過前饋補償消除0.05μm級的動態(tài)滯后誤差。獨特的諧波抑制技術可消除3/5次諧波干擾,使信號失真度<0.8%。實驗數(shù)據(jù)顯示,在1kHz振動環(huán)境下,細分誤差峰峰值小于±15nm,比傳統(tǒng)設計提升4倍精度。雙路冗余處理架構確保單通道故障時仍可維持基本測量功能。蘇州貝格納工業(yè)設備有限公司的精密信號處理技術,重新定義測量精度標準。

蘇州貝格納工業(yè)設備有限公司
蘇州貝格納工業(yè)設備有限公司
簡介:蘇州貝格納工業(yè)設備有限公司專注高精度測量,提供半導體、3C電子、汽車等行業(yè)的精密組件。
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RU2系列光柵系統(tǒng)2
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